| |
MCD -001
MCD -002
MCD -003
MCD -004
MCD -005
MCD -006
MCD -007
MCD -008
MCD -009
MCD -010
MCD -011
MCD -012 |
Track pitch
1.35+/-0.3um
Push-pull
0.02+/-0.005
Symmetry
-20+/-5% |
45+/-3
45+/-3
45+/-3
45+/-3
52+/-3
52+/-3
52+/-3
52+/-3
60+/-3
60+/-3
60+/-3
60+/-3 |
0+/-50
0+/-50
150+/-30
150+/-30
0+/-50
0+/-50
150+/-30
150+/-30
0+/-50
0+/-50
150+/-30
150+/-30 |
0.0+/-0.25
0.5+/-0.25
0.0+/-0.25
0.5+/-0.25
0.0+/-0.25
0.5+/-0.25
0.0+/-0.25
0.5+/-0.25
0.0+/-0.25
0.5+/-0.25
0.0+/-0.25
0.5+/-0.25 |
